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制程氣體通過進氣口進入主腔體混合，等離子炬裝置位于主腔體中間位置，通過等離子體發生裝置，形成高溫、射流狀的等離子電?。ɑ￠L：25CM），對進入的制程廢氣在反應室內進行電離、轟擊、高溫分解，使其廢氣分子轉化成各活性粒子，反應生成H2O、CO2等無害物質，再由水洗系統對其進行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理，溶于水的物質作為廢水排出，處理達標的氣體定向排放至廠務中央系統。