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TW-GS6D電加熱水洗式尾氣處理設備
電加熱水洗式尾氣處理設備
工藝所產生的制程廢氣（DCS、N2O、SiH4、NH3、TEOS、SiF4、CH4、TEB、TEPO等），經由真空連接管路進入反應腔體，在此進行高溫分解反應處理，分解反應成粉末或是溶解于水的物質，由水洗系統對其進行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理，溶于水的物質作為廢水排出，再由水氣分離器進行水氣分離，防止濕度超標，最后，處理達標的氣體定向排放至廠務中央系統。
| 目錄 | 明細 |
| 腔體接口 | 6 Ports *2 |
| 處理容量 | 600LPM *2 |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
| 設備尺寸 (W×D×H ) | 1970X950X2148（mm) |
電源供應 | 16mm2*4C AC 208V 50A 50/60HZ |
其他特點 | 雙腔自動運行，出色的整體防腐設計 手動/自動兩種運行模式，獨立雙系統， 減少占地空間40%，維護方便，運行成本低 |
| TW-GS6D 配置需求 | ||||||||
| 設備各連接口配置 | 廠務二次配要求 | |||||||
| 項次 | 名稱 | 材質 | 尺寸規格 | 數量 | 接口方式 | 需求 | 材質 | 備注 |
| 左右1 | 酸排接口 | SUS | IS0-125 | 2 | C型夾連接 | -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.連接處上方需配有壓力表、調節手閥 2.廠務酸排管需做分段（2m/段）連接，方便后期維護 3.固定C型夾不得少于6個，酸排管必須耐腐 |
| 左右2 | 一般排氣接口 | SUS | φ102 | 2 | 抱箍固定 | --20 ～ --30mmH2O | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 左右3 | 冷卻水進水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 需加裝過濾裝置，防止水質差造成設備內部管路堵塞 |
| 左右4 | 冷卻水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 必須配有流量計、壓力計 |
| 左右5 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"內絲由令 | Acid Drain | PVC | 需加裝手閥、逆止閥 |
| 左右6 | 電源接口 | Cu | 16mm2*4C | 1 | 端子螺絲固定 | 16mm2*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ | 銅芯軟線 | 廠務至設備之間的電源線不得有接頭，接頭處，易損風險極大，損壞后會造成不必要的case |
| 左右7 | 自來水進水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 3-8 kgf/cm2 5-10LPM | SUS | 需加裝過濾裝置，防止水質差造成設備 內部自來水管路、噴頭堵塞 |
| 左右8 | CDA接入口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 2 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 5-8 kgf/cm2 80-100LPM | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 左右9 | 遠程接口（預留） | SUS+PVC | RS232 公頭 | 2 | RS232插頭連接 | RS232 母頭 | 信號線 | 如有需求，連線由高笙提供 |
| 左右10 | 氮氣接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 2 | 3/8" SWAGELOK卡套 | 4-5 kgf/cm2 30-60LPM | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 左右11 | 廢氣進氣接口 | SUS | KF-40 | 12 | KF-40 clamp連接 | --60 ～ --100mmH2O | SUS | |
| 聯鎖功能表 | |||||||||
| 編號 | 安全組件名 | 所在位置 | 斷開部件和功能 | 信號燈狀態 | 蜂鳴器狀態 | 顯示屏是否報警 | 是否人工復位 | 動作方式 | 互鎖實現回路 |
| 1 | 緊急停止 | 機臺正視操作面板 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 2 | 煙霧偵測器 | 電控箱上端、 機箱內上端 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 3 | 漏液偵測器 | 設備水箱前端、頂端 | 斷開自來水、冷卻 水、循環水和排水 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 4 | 機箱排氣偵測器 | 機臺頂端一般排氣 | 斷開加熱器控制開關 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 5 | 過溫、過熱安全 保護裝置 | 主腔體外壁、渦旋腔體外壁、冷卻腔體外壁 | 斷開加熱器控制開關 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
1.安全
a.PARTS防腐設計，使用壽命更長。
b.EMO、煙感、漏液偵測、過溫、過熱、水位偵測、壓力偵測等安全連鎖設計。
c.循環水入水口過濾裝置，更能有效的防止水槽雜質進入循環泵，使其卡死、損耗以及大量雜質堆積在循環水管路內。
d.排水管路設有氣動閥、逆止閥，雙層防護，有效的防止水倒灌。
e.電控箱-安全回路設計，用電更安全。
f.后段水氣分離裝置，有效防止水汽進入廠務酸排管。
2. 高效
a.HEATER均勻分布，高溫分解、反應更徹底。
b.渦旋水洗、降溫設計，水洗、沖刷更佳。
c.后段雙重水洗系統，處理更高效。
d.循環/排水雙泵設計，使其每個系統供應更充分，損耗更低。
e.反應腔加大設計，POWDER不易堵塞，從而延長PM周期。
3. 方便
a.觸控屏操作設計，操作更清晰、便捷。
b.特有結構設計，拆裝更便捷。
