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TW-GS6022電加熱水洗式尾氣處理設備
電加熱水洗式尾氣處理設備
通過電能加熱，對進入的制程廢氣在反應腔室內進行高溫分解，反應生成H2O、CO2等無害物質，再由水洗系統對其處理，水氣分離器將水汽和氣體分離，溶于水的物質作為廢水排出，再由Chiller進行冷處理，達到水氣分離，最后，處理達標的氣體定向排放至廠務中央系統。所處理的尾氣，包含了大部分半導體、TFT、SOLAR 工廠所使用的特種氣體。
| 目錄 | 明細 |
| 腔體接口 | 12 Ports |
| 處理容量 | 2200LPM |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
| 設備尺寸 (W×D×H ) | 1473X1250X1972.9（mm) |
電源供應 | 50HZ 208V 50A 3phase 3wire+PE |
其他特點 | 完善的安全報警系統、自動BY PASS閥、雙層反應腔室結構 |
| TW-GS6 配置需求 | ||||||||
| 設備各連接口配置 | 廠務二次配要求 | |||||||
| 項次 | 名稱 | 材質 | 尺寸規格 | 數量 | 接口方式 | 需求 | 材質 | 備注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0200 | 1 | C型夾連接 | -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.連接處上方需配有壓力表、調節手閥 2.廠務酸排管需做分段（2m/段）連接，方便后期維護 3.固定C型夾不得少于6個，酸排管必須耐腐 |
| 2 | 一般排氣接口 | SUS | φ100 | 1 | 抱箍固定 | --10 ～ --20mmH2O | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 3 | 冷卻水進水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 需加裝過濾裝置，防止水質差造成設備內部管路堵塞。 |
| 4 | 冷卻水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 必須配有流量計、壓力計 |
| 5 | 排水接口 | PVC | 1寸 ANSI(25A) | 1 | 1寸內絲由令 | Acid Drain | PVC | 需加裝手閥、逆止閥 |
| 6 | 電源接口 | Cu | 16mm2*4C | 1 | 端子螺絲固定 | 16mm2*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ | 銅芯軟線 | 廠務至設備之間的電源線不得有接頭， 接頭處，易損風險極大，損壞后會造成不必要的case。 |
| 7 | 自來水進水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 3-8 kgf/cm2 5-10LPM | SUS | 需加裝過濾裝置，防止水質差造成設備內部自來水管路、噴頭堵塞。 |
| 8 | 遠程接口（預留） | SUS+PVC | RS232 公頭 | 1 | RS232插頭連接 | RS232 母頭 | 信號線 | 如有需求，連線由高笙提供。 |
| 9 | 氮氣接入口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-5 kgf/cm2 30-60LPM | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 80-100LPM | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 11 | AUTO BY-PASS 信號輸出（預留） | SUS+PVC | 航空插頭 3孔公頭 | 12 | 航空插頭連 | 航空插頭 3孔 母頭 | 0.5mm2*3芯 信號線 | 如加裝自動BY-PASS，連線由高笙提供。 |
| 12 | 廢氣進氣接口 | SUS | KF-50 | 12 | KF-50 clamp連接 | --80 ～ --120mmH2O | SUS | Dry-Pump 尾端需加裝手閥 |
| 聯鎖功能表 | |||||||||
| 編號 | 安全組件名 | 所在位置 | 斷開部件和功能 | 信號燈狀態 | 蜂鳴器狀態 | 顯示屏是否報警 | 是否人工復位 | 動作方式 | 互鎖實現回路 |
| 1 | 緊急停止 | 機臺正視操作 面板中間 | 斷開所有電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 2 | 煙霧偵測器 | 電控箱上端、 機箱內上端 | 斷開所有電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 3 | 漏液偵測器 | 設備水箱前端、頂端 | 斷開自來水、冷卻 水、循環水和排水 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 4 | 機箱排氣偵測器 | 機臺頂端一般排氣 | 斷開加熱器控制開關 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 5 | 水槽高液位傳感器 | 設備水箱右側、頂端 | 斷開自來水、冷卻水 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 6 | 過溫、過熱安全 保護裝置 | 主腔體外壁、渦旋腔體外壁、冷卻腔體外壁 | 斷開加熱器控制開關 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
1.維護成本低、運行穩定，故障率低
2. 節能模式
3. 手動/自動兩種運行模式，Auto BY-PASS
4.90度翻轉設計，便于PM清潔腔室
5.完善的安全報警系統
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