咨詢熱線：
021-58072672021-68072312
產品中心
半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質
YZ-8S低溫泵
真空低溫泵
工作原理
當今的濺射鍍膜工藝要求工藝工具的高可用性，而全新的增強型國產 YZ-8S 低溫泵大幅度提高了工藝的可用性。有效減少泵再生頻率，以確保在氙氣與氮氣等工藝制程中提供更好的真空恢復，每月可以減少 40%-60% 的再生次數有效提高了品園產品產量。
產品簡介
| YZ-8S 性能參數表 | ||
抽氣速率（L/S） | N2 | 1200 |
| H2 | 2200 | |
| Air | 1500 | |
| H2O | 4000 | |
| 極限真空度（Pa） | 10-7 | |
| 最大通導（Pa L/S） | Air | 1.2*103 |
| 抽氣容量（Pa-L） | Air | 1.2*108 |
| H2 | 1.0*105 | |
| 降溫時間（min） | 120 | |
| 泵口法蘭 | CF | |
| 重量（KG） | 35 | |
產品特點
卓越性能
? 國產新品：保證技術參數、指標、功能同等的情況下 ，價格是 同類進口設備的70-80%。
? 安全定制：殼體密閉空間 ，外環境對其零影響 ，殼體可以根據客戶要求， 定制方位 ，便于客戶空間設計。
? 再生能力強：低溫泵運動部件少且低速運行，再生時間短，正常壽命可達6-8w小時。
? 超潔凈：冷泵利用低溫板來冷凝、吸附氣體而獲得和保持真空，在真空區域沒有油污、碳體。
? 高極限真空：最高可以達到10-8Pa以上的高真空。
- 上一篇：YZ-I320SE低溫泵
- 下一篇：無
