全自動插板閥(AGV)
Auto Gate Valve通過添加PUMP Interface BD信號,實現PUMP和Main Controller 的通信, 當PUMP異常停機時,Main controller收到信號后,立即自動關閉閥門,預防氣體回灌,并保持管路壓力。
自動閘閥(AGV)由閥體和控制器(主控制器,遠程控制器和加熱控制器)兩個部分組成,可通過4-6Kgf/cm^2氮氣(或者壓縮空氣)控制閥門的快速打開與關閉。
? 主控制器(接收來自干泵故障信號)
? 遠程控制器(與主控制器連接)
? 主控制器和遠程控制器都可以控制閥體
? 加熱控制器只控制閥體加熱不參與閘閥的控制
型號 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(MM) |
AGV-GS100T | 130 | 162 | 430 | 246 | 162 |
AGV-GS125T | 155 | 162 | 430 | 246 | 162 |
AGV-GS160T | 180 | 162 | 524 | 279 | 195 |
AGV-GS200T | 240 | 162 | 655 | 398 | 219 |
AGV-GS250T | 290 | 162 | 850 | 563 | 248 |
閥體介紹 | |||||
閘板材質 | 主題材料 | 泄漏率 | 氮氣 | 密封材質 | 關斷時間 |
SUS304 | AL6061 | ≤1*10E-9bar.l/s | 4-6bar | FKM | ≤0.3s |
AGV & QSV 差異 | ||
分類 | AGV | QSV |
作用 | 全面性預防氣體回灌,即時保護至主設備端 | 截止回流,減少污染和損壞 |
安裝位置 | Pump inlet端 | 主設備Out端 |
關斷方式 | 自動關閉 | 被動關閉 |
主體材料 | AL6061 | Al |
閘板材質 | SUS304 | SUS304 |
密封性 | 更高性能的FKM | FKM |
控制方式 | 主控制器和遠程控制器都可以控制閥體 | PID控制 |
AGV設計特點:
? 當真空泵出現宕機時,自動閘閥(AGV) 能接收真空泵反饋的 alarm 信號自動關閉閘閥,關斷時間≤0.3s,防止氣體倒灌回機臺chamber。
? 閥體具備加熱功能,加熱溫度范圍可人為控制在 0℃~180 ℃之間,通過內部嵌入式Heating防止Powder沉積,延長使用周期,并且加熱實際溫度可以在觸控屏上顯示出來。
? 設備控制方式:設備由PLC系統控制 ,分local control 和remote control 兩種手動控制方式,兩種控制方式互鎖,不能同時操作;且控制器具有閘閥運行記錄和報警信息查詢功能。
? 狀態顯示:自動閘閥(AGV)閥體自帶 open/close 狀態識別指示燈,同時屏幕上可動態顯示。