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HT-GS3600氫氣專用尾氣處理設備
氫氣專用尾氣處理設備
廢氣處理設備系將制程設備所排出的廢氣經高溫分解、水洗反 應處理后，再將此廢氣送至廠務中央濕式洗滌系統。加熱器均 勻分布安裝在主腔體位置，通過電能加熱，對進入的制程廢氣 在高溫應室內進行反應，反應生成H2O，再由冷卻系統降溫、 冷凝形成液態水，再次降溫，最后定向排放至廠務中央系統。
| 目錄 | 明細 |
| 廢氣進氣接口 | 2 Ports |
| 處理容量 | 綜合處理：3600LPM；單氫氣處理：400LPM |
| 設備尺寸 (W×D×H ) | 1000X1000X1970（mm) |
電源供應 | 208VAC /3phase 3wire+PE 50/60HZ |
其他特點 | 處理氫氣流量更大，單氫氣可以達到400/L 純電熱高溫處理方式，溫度到達800度 |
| HT-GS3600 配置需求 | ||||||||
| 設備各連接口配置 | 廠務二次配要求 | |||||||
| 項次 | 名稱 | 材質 | 尺寸規格 | 數量 | 接口方式 | 需求 | 材質 | 備注 |
| 1 | 酸堿排氣接口 | SUS | IS0-160 | 1 | C型夾連接 | <-500pa | SUS | 1.連接處上方需配壓力表、手閥2.廠務酸排管需做分段(2m/段)連接，方便后期維護。 |
| 2 | 一般排氣接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | <-300pa | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 3 | 冷卻水進水接口 | SUS | 1” SWAGELOK | 1 | 卡套接頭 | 3-6 kgf/cm2 | SUS | |
| 4 | 冷卻水出水接口 | SUS | 1” SWAGELOK | 1 | 卡套接頭 | 3-6 kgf/cm2 | SUS | |
| 5 | 排水接口 | SUS | 1/2” ANSI | 1 | 卡套接頭 | Acid Drain | SUS | |
| 6 | 電源線進口 | Cu | 162 * 4C（3相+1地） | 1 | 端子螺絲固定 | AC 208-220V 3P 50/60Hz 75A | 銅芯軟線 | 廠務至設備之間的電源線不得有接頭 |
| 7 | 遠程安全互鎖接線盒 | RS232 | RS232母頭 | |||||
| 8 | 氮氣進氣接口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 1 | 卡套接頭 | 2-4 kgf/cm2 | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 9 | 壓縮空氣進氣接口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 1 | 卡套接頭 | 5-8 kgf/cm2 | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 10 | 廢氣進氣接口 | SUS | KF-40 | 1 | KF-40 CLAMP連接 | <-500pa | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 11 | 酸堿強排接口（帶鼓風機選配） | SUS | IS0-100 | 1 | C型夾連接 | <-500pa | SUS | 1.連接處上方需配壓力表、手閥2.廠務酸排管需做分段(2m/段)連接，方便后期維護。 |
| 聯鎖功能表 | |||||||||
| 編號 | 安全組件名 | 所在位置 | 斷開部件和功能 | 信號燈狀態 | 蜂鳴器狀態 | 顯示屏是否報警 | 是否人工復位 | 動作方式 | 互鎖實現回路 |
| 1 | 緊急停止 | 機臺正視操作面板中間 | 斷開所有電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 2 | 煙霧偵測器 | 電控箱上端、 機箱內上端 | 斷開所有電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 3 | 機箱排氣偵測器 | 機臺頂端一般排氣口 | 三通閥打開 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 4 | 超溫安全保護裝置 | 加熱器外壁 | 斷開加熱控制器開關 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 5 | 漏液偵測器 | 設備水箱前端 | 斷開冷卻水 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
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