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YZ-I320SE低溫泵
真空低溫泵
工作原理
優尊真空 YZ-I320SE 低溫泵，專為解決當今離子注入工藝中的挑戰而開發，YZ-I320SE 保持您所獲得的所有質量、性能和可靠性優勢，同時提供了增強的氫泵泵送速度和容量。
產品簡介
| YZ-I320SE 性能參數表 | ||
抽氣速率（L/S） | Water | 11000 |
| Air | 3600 | |
| H2 | 12500(30L) | |
| 13000(40L) | ||
| Ar | 3000 | |
| 氣體容量（Pa-L） | H2 | 30/40 |
| Crossover(Torr-L) | 300 | |
再生時間（min） （包含20分鐘延長清洗時間） | 完整（第一和第二階段） | 150 |
| 快速恢復（僅限第二階段） | 75 | |
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