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半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質
NRC3050干泵
真空干泵
工作原理
NRC系列干泵產品能夠滿足半導體、平板顯示器和太陽能行業苛刻工藝的要求。此系列產品體積緊湊、占地面積小，能耗低、抽除粉塵能力強，擁有可靠的性能和較低的使用成本。
產品簡介
| NRM602 性能參數表 | |
| 抽氣速率（m3/h） | 3000 |
| 極限真空 | 5*10-3mbar |
| 3.7*10-3Torr | |
| 進氣口（DN） | ISO160 |
| 排氣口（DN） | NW40 |
| 氮氣流量（slm） | 0-133 |
| 水流量（l/m） | 12.2 |
| 極限功率（kW） | 5.5 |
| 干泵功率（kW） | 7.5 |
| 增壓泵功率（kW） | 4.5 |
| 重量（KG） | 820 |
| 噪音（dB） | 70 |
| 主題尺寸 長*寬*高（mm） | 996*518*973 |
